流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn) 測量控制的自動化、精確地定量控制流量 適用范圍寬、準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好 體積小巧、安裝方便、操作簡單、技術(shù)先進(jìn)、符合發(fā)展潮流
1.流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于體積流量計(jì),壓力和溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差,對于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計(jì)。
2.測量控制的自動化
質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以標(biāo)準(zhǔn)電信號形式輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示累積流量自動計(jì)量、數(shù)據(jù)自動記錄、計(jì)算機(jī)管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0-5V或4-20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動控制。
3.精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
4.適用范圍寬
在很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多鐘氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品小流量范圍可達(dá)0-2SCCM,大流量范圍可達(dá)0-200SLM.流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2-100%(量程比為--50:1),因此在很多領(lǐng)域得到應(yīng)用。
5.準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好
我們的產(chǎn)品準(zhǔn)確度可以達(dá)到±1%F.S,重復(fù)性為±0.2%F.S
6.體積小巧、安裝方便、操作簡單
7.技術(shù)先進(jìn)、符合發(fā)展潮流